氢气发生设备目前已大量应用在以上工艺中，为半导体材料及器件制备提供好的气源。
进口氢气发生器全部工作过程均由程序控制，自动恒压、恒流，通过串联控制线，可实现多组并联使用，操作方便使用时只需打开电源开关即可产氢，使用后无需泄压，直接关闭电源即可。可连续使用，也可间断使用，产氢量稳定不衰减，且该设备配有安全装置，电解超纯水制氢，无腐蚀、无污染，配有压力控制，缺水自动监控，漏气自动检测。
安装该仪器可采用以下两种方式：
吊装式：净化管的进气口和出气口都在仪器上部，出管口向下，从电解分离池或者压缩机过来的气体首先从固定盖中间内突起的进气口向下通过内衬芯管进入干燥剂底部，然后经过吸附剂的过滤后再向上返回到固定盖周边的出气口，从而保证气体经过有效的过滤后再输出。
立装式：过滤管的进气口和出气口都在仪器底部，开口向上。此方法有两种：
（1）净化管内加衬管，吸附剂装入衬管内，气体先经吸附剂吸附后再经净化管与衬管中间的缝隙到净化管底部输出，此方法由于受结构及加工工艺的影响，衬管不易从净化管内取出，甚者气体受吸附剂阻力的影响而不流经吸附剂，造成未过滤的气体直接输出，影响色谱的正常使用；
（2）净化管内加导管吸附剂装入净化管内，气体先经吸附剂吸附后再经导管输出，此方法多为不锈钢管采用，但不锈钢管为不透明不便于用户直接观察吸附剂的变化，不方便使用。
在使用进口氢气发生器时需要留意以下事项：
为了确保气体纯度，发生器每工作1000小时，需要更换活性炭一次（活性碳为20-40目，铅笔芯式）；
在工作过程中压缩机不启动，热保护继电器启动，说明压缩机温度过高，待冷却后即可自动恢复正常；
进气口过滤器需定期清洗（周期视室内粉尘情况而定，可用超声波清洗）以保持进气通畅，否则易引起压缩机工作负载增大并发热，温度过高时会发生过热保护而导致停机；
因压缩机是感性负载，通断电时的瞬时电流比正常工作时高数倍，较易熔断保险，应选用8A保险管，从观察窗观看变色硅胶的情况，用户可根据需要更换新的硅胶，或进行干燥处理；更换变色硅胶后，要及时检查净化管两端接口的气密性，若有漏气，要及时更换密封垫圈或净化管；
由于压缩机为开路工作方式，故润滑油会随水排出机外，造成消耗，所以在使用一年后适当给压缩机加润滑油，加油口在压缩机出气口旁边或从进气口亦可，建议加18号冷冻机油200克。
更新时间：2020-07-22
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